二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一種用於化學氣相沈積（CVD）應用的高性能沈積反應器。它具有多個集成的過程腔室，能夠實現低壓化學蒸氣滲透（CVI）、高壓CVD、原子層沈積（ALD）和等離子體增強CVD（PECVD）。該矢量利用閉環共振控制的基板加熱器，以確保沈積過程中基板的熱性能高度均勻。Vector配有可編程的氣體分配板，可提供最大的靈活性，確保準確和精確地輸送反應物氣體。其氣體分配板包含氣體開關閥，設計用於快速關閉廢反應物氣體，並根據需要替換為新鮮的反應物氣體，從而減少廢氣外流並提高工藝產量。此外,Vector還具有可配置的自動噴射系統和熱燈絲發射器,從而可以錯綜復雜地控制沈積室中存在的反應性物質,從而更好地控制沈積過程。Vector還設計用於超高溫，實現金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）和有機化學氣相沈積（OCVD）等高性能應用。它的閉環、空心圓錐形crucible設計創造了一個獨特的混合和化學轉移環境，允許改進反應性控制和更好的過程監測和控制。矢量還具有先進的溫度控制系統，以確保沈積室內的溫度控制和均勻性。其專有的熱管理系統包括熱區及其內部部件之間的多層隔熱,從而在整個基板表面提供均勻的溫度分布。這種先進的熱管理系統,加上Vector的高性能硬件,在沈積過程中提供了出色的可重復性和統一性。CONCEPT 3 Vector是CVD應用的絕佳工具，提供了高度精確的溫度控制、均勻性和可重復性。它非常適合於諸如MOCVD和OCVD等復雜的工藝，允許卓越的熱性能和廣泛的反應物氣體。