二手 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9281484 待售

NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一種單晶片化學氣相沈積（CVD）反應器設備，設計用於先進的金屬沈積過程。它采用三區設計，包括預熱室、沈積室和冷卻區。預熱室能夠在熱帶很小的情況下傾斜到450°C的溫度，從而對各種晶圓表面進行預處理。沈積室具有獨特的平行板結構，具有兩個獨立操作的等離子體室，可實現源氣體的低溫控制和更好的沈積均勻性。冷卻區允許晶片快速冷卻，並包括一個用於快速晶片分析的自動QC端口。CONCEPT 3 Vector的設計考慮了高吞吐量，其MOVe GAP晶片處理系統針對快速晶片處理進行了優化。它具有許多有助於提高均勻性、最小化晶片間距和最小化晶片應力的功能。此外，Vector還配備了一系列濺射和電化學加工工具，如傾斜角度濺射旋轉木馬、用於增強透晶片均勻性的旋轉基座以及用於傾斜旋轉木馬的單元，以實現最佳的站對站均勻性。該機還設計有薄膜密封杯等功能，以減少金屬汙染，以及用於工藝優化的自動化聯鎖工具。Vector的過程控制由NOVELLUS專有SenPlace™軟件啟用,該軟件是一個利用高級過程監視、控制和優化技術的平臺。SenPlace允許用戶實時監控各種工藝參數，即時調整工藝配方，確保整個晶圓表面的均勻性。它還提供了各種警報和安全功能,以確保在沒有任何意外結果的情況下執行過程。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 3 Vector是一種先進且用途廣泛的單晶圓沈積資產，其設計考慮了吞吐量和均勻性。適用於各種沈積過程，包括低溫CVD、氮化鋁、氮化鈦、鎢等。