二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #119115 待售
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ID: 119115
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Speed CVD system, 12"
Dimensions: 2604mm x 3536mm x 2125mm
Weight: 3228 kg
90 / 65 nm, FEOL STI
Gases:
SiH4
SH2
SO2
NF3
Ar
He
SN2
D-Air
Includes manual
2005 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 3是由以創新高科技設備著稱的NOVELLUS開發的一款革命性、先進的化學反應堆設備。這種革命性的反應堆旨在通過對反應條件提供卓越的控制、精度和精確度,提高化學加工和制造業的產量和生產率。CONCEPT 3反應堆采用獨特的連續流動反應工藝,允許在給定設備內實現最大的操作靈活性,以及以最小的汙染可能性進行高效可靠的操作。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆由一系列模塊化部件組成,包括反應堆容器、反應容器、入口和出口閥、反作用泵,以及入口、泵和入口和出口熱電偶。反應堆的模塊化設計允許在同一系統中進行幾種不同類型的反應,確保最高效率和準確性。所有部件均按照最高的行業標準進行設計和制造,確保每個部件的設計適合應用,並能夠承受化學反應堆必須做的惡劣環境。CONCEPT 3反應堆在高達6,000 psi的高壓下運行,溫度在-50至250攝氏度之間。進口和出口閥門的設計允許精確控制反應壓力和溫度,並提供快速和調節的產品輸送。溫度感應探頭允許設備根據需要監測和調整反應溫度,以確保生產過程中的準確性和安全性。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆的反應容器和反應堆泵機機構是專門設計和建造的,以減少潛在的汙染和防止擴大規模的問題。反應容器和泵還可以在高溫、高壓和腐蝕條件下運行。此外,泵的設計目的是減少損耗,不需要額外的閥門、配件和二次回收系統。CONCEPT 3反應堆還包括一個專門的軟件界面,允許用戶實時監控和調整過程參數。這允許用戶調整反應參數以獲得最佳性能,即使在最具挑戰性的條件下也是如此。最後,NOVELLUS CONCEPT 3反應堆是一種非常先進的化學反應堆設備,它利用最新的技術和工程技術來保證卓越的安全性、效率和生產率。先進的技術使這臺機器非常適合要求苛刻的反應過程,並有助於在所有應用中最大限度地提高產量和工藝效率。
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