二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #162059 待售

NOVELLUS CONCEPT 3是一種最先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於半導體晶圓的大批量工業生產。它是為實現卓越的工藝均勻性和設備質量而設計的，這對於生產可靠的集成電路至關重要。CONCEPT 3具有三室設計。頂室使用一個由石英和源氣體入口構成的壓板，該壓板位於墻壁上，為將連續層薄膜擴散和沈積到基板上創造必要的環境。中間腔室提供維持頂部腔室產生的揮發性反應物質反應所需的溫度控制。底部腔室是根據需要在腔室之間傳輸晶片的傳輸區。這三個腔室同時在多個晶片上沈積優質薄膜。反應堆的電極定位在緊鄰基板的位置，允許極好的均勻性。這種布置還提供了利用頻率控制的射頻電源獨立和精確地加熱或冷卻基板的能力。此功能可精確控制每個晶片內的薄膜厚度、成分和熱穩定性。NOVELLUS CONCEPT 3利用了最先進的安全和自動化功能。使用人機界面可以最大限度地優化參數和遠程監控過程狀態。此外,該軟件還設計用於大批量生產、數據收集和報告。CONCEPT 3是尋找高性能CVD反應堆的公司的理想選擇。其獨特的設計和先進的特性使其成為以高效、經濟高效的方式生產可靠、高質量集成電路的絕佳選擇。