二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644792 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NOVELLUS CONCEPT 3反應器是一種用於半導體制造的化學氣相沈積（CVD）工具。它具有高純度的氣體環境，能夠生產先進、高性能的半導體材料。CONCEPT 3反應堆利用先進的專有設計為用戶實現最佳性能.NOVELLUS CONCEPT 3反應器的整體設計由一個容納各種氣體化學過程的腔室組成。在中央腔室的兩側有兩個腔室，有一個通氣室和歧管連接腔室。擴散室也與中心室相連，使化學物質在過程中得以分散。所有腔室組件協同工作，為復雜的項目創造最佳的工藝條件。CONCEPT 3反應堆的氣體入口歧管能夠高效地輸送多達三種不同的化學物質，同時仍能提供一致水平的工藝控制。設備可以自動準確地調節化學物質的流動和腔室內的壓力，確保達到預期的效果。氣體一旦輸送到腔室，就用輻射加熱元件加熱，使化學反應開始。整個過程得到位於腔室壁上的一些工具的促進，包括傳感器、加熱器等。隨著過程的進行，室內的各種探測器監測溫度和流量，始終確保過程運行平穩。一旦達到所需的結果，高反應性副產品組件就會通過使用排氣系統迅速高效地從腔室中移除。該排氣裝置由洗滌器、加力燃燒器、高效過濾器和化學密封器組成，所有這些裝置共同確保安全和清潔的工作環境。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆是一種可靠而強大的CVD工具，旨在為半導體行業創造高性能材料。它提供自動化的過程控制、高效的氣體輸送以及安全、清潔的排氣機，使其成為具有長期可靠性的經濟高效的工具。
還沒有評論