二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644795 待售

NOVELLUS CONCEPT 3是一種高性能的PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）反應器，設計用於沈積和蝕刻過程，主要在半導體行業。這種工具是一種高度精確和強大的沈積工具，用於大容量、大面積的透鏡元件。CONCEPT 3利用獨特的反應堆室架構，具有四個獨立定位的空間。每個空間都可以獨立包含單獨的CVD進程和/或蝕刻進程。這種獨特設計的結果是可以同時運行四個流程模塊,從而實現更快的吞吐量時間和較高的流程均勻性。PECVD反應堆采用多種蝕刻工藝滿足特定需求，包括感應耦合等離子體蝕刻（ICP Etch）和反應性離子蝕刻（RIE）。這是為了便於在大型多層晶片和元件上沈積和蝕刻均勻精確的薄膜。NOVELLUS CONCEPT 3配備了先進的自動化和過程控制軟件，讓用戶可以即時優化自己的過程參數。用戶可以通過幾個簡單的步驟來設置整個流程,並在給定運行過程中快速更改流程條件,以提高生產效率。最終結果是更好的質量、更快的生產時間以及由於對基板更精確的控制而降低了產品成本。CONCEPT 3還具有獨特的「混合冷卻」系統，對四個腔室中的每一個進行靈活的溫度控制。此功能使該工具具有令人難以置信的多功能性,並允許使用更高的溫度以更快地蝕刻較硬的材料,或使用較低的溫度以進行精細的蝕刻工作。它還有助於防止由於不同腔室之間的極端溫差而導致基板翹曲。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 3是一種先進且用途廣泛的PECVD反應堆工具，旨在提供先進多層晶片和元件的高速沈積。它具有創新的腔室架構，可以獨立容納多個過程，先進的過程自動化和控制，以及提供更大溫度控制的混合冷卻系統。所有這些特性使得Concept 3成為大面積組件快速精確沈積的理想選擇。