二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644796 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NOVELLUS CONCEPT 3是一種先進的平面角PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）反應器，旨在提供卓越的薄膜沈積性能。該系統針對氮化矽、氧化矽和氧化矽的超細沈積和改性進行了優化，具有良好的均勻性和薄膜質量。憑借獨特的雙頻兼容性，CONCEPT 3實現了更好的粒子密度控制和優於傳統系統的薄膜性能。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆由先進的多頻PECVD工藝室和射頻匹配網絡組成。射頻匹配網絡設計為在發電機和工藝室之間提供最優阻抗匹配，可同時調節並聯和串聯諧振以及低頻和高頻。此RF匹配網絡設計除了消除熱點和定制阻抗以提高流程一致性和可重復性之外,還提高了電源效率並降低了擁有成本。CONCEPT 3的工藝室配備了高密度射頻發生器和雙頻激發系統，同時產生低頻和高頻波。這有助於保持過程等離子體的完整性，同時推動基板表面快速均勻的薄膜生長。這種雙頻排列也有助於降低外部蝕刻速率，防止在反應性離子蝕刻（RIE）步驟中釋放出不想要的顆粒。自給自足的PECVD系統和專門設計的符合代碼要求的工藝室經過嚴格的可靠性和壽命測試。強健的設計可確保各種工業過程和應用程序的最佳性能。NOVELLUS CONCEPT 3還具有觸摸屏群集控制、基於Web的應用程序管理以及強大的診斷和配方跟蹤功能。總體而言,CONCEPT 3是市場上最先進的PECVD系統之一,提供卓越的過程控制、可重復的性能和高效的薄膜沈積。它是各種沈積過程的理想選擇，如薄膜沈積、硬掩模沈積、圖樣化和金屬/介電層形成。它結合了強大的功能、先進的技術和用戶友好的設計,使NOVELLUS CONCEPT 3成為任何現代制造環境的可靠高效的PECVD解決方案。
還沒有評論