二手 NOVELLUS CONCEPT 3 #9262617 待售

NOVELLUS CONCEPT 3是一種生產級化學氣相沈積（CVD）反應器，具有先進的等離子體技術，以滿足高端半導體制造的需求。CONCEPT 3反應堆專為與高器件復雜度、介電膜、各種熱氧化物層、低k介電等需要精密初產率和低缺陷生產相關的先進材料和沈積過程而設計。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆能夠處理尺寸可達300 mm的晶片,並具有可變等離子體功率選項,最大功率可達1000W。它的設計基於一個集成的垂直偏置偏置電極，該電極具有創新的等離子體電離，促進穩定和均勻的等離子體放電。一層稀土門氧化物（REE）提供了更大的均勻性和穩定性。CONCEPT 3利用了一系列自動化控制系統，旨在確保沈積配方保持在給定的目標和公差範圍內。通過智能傳感器的使用，保證了真空和等離子體參數的均勻性和持續監測。這些控制提供了一個安全可靠的沈積環境，以確保一致性和可靠性。NOVELLUS CONCEPT 3反應堆是為快速沈積速率、高金屬含量和先進基板相容性而設計的。它可以容納種類繁多的材料來源，包括精選的優質氧化膜、氮化物、矽化物、碳化鎢，以及鉬、的、鎢等金屬。該反應器能夠預處理底物並產生嚴格的過程控制。該反應堆還提供了出色的溫度控制和性能優化，具有高溫均勻性，快速的熱斜坡速率和可重復的工藝結果。CONCEPT 3能夠創建均勻的蝕刻輪廓，並具有獲得專利的三頻等離子體源，從而實現了先進的孔變窄，無空的半球形晶粒沈積，並增加了薄膜附著力。附加功能包括高均勻性等離子體發生器、集成平面化源、閉環過程控制和高級自動化。綜上所述，NOVELLUS CONCEPT 3是一種生產級的CVD反應堆，旨在滿足與高通量、首次產量、低缺陷生產相關的苛刻制造要求。它可以處理尺寸可達300毫米的晶片，並具有可變功率選項、一層稀土門氧化物和自動控制系統，以實現安全可靠的沈積。CONCEPT 3針對預處理基板和實現嚴密的過程控制進行了優化，並具有快速的熱斜坡速率、三頻等離子體源和先進的自動化功能。