二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293758274 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一種中型氣相等離子體化學氣相沈積（CVD）設備，用於半導體工業。該反應堆具有先進的設計和堅固的結構，以實現高性能的過程結果。該One-150確實是一個用於沈積應用的通用平臺，利用先進的設計特點和智能工藝控制，以高選擇性的方式支持各種工藝化學。反應堆配有1300 W高頻電源，能夠達到40 mTorr以下壓力的真空系統，以及可處理多達10種氣體的NOVELLUS ALC氣體歧管。它還擁有數量驚人的工藝傳感器（溫度、壓力和晶圓溫度）和反饋回路,以實現對工藝參數的精細控制。該One-150還配備了區域溫度控制、令人印象深刻的靜電卡盤能力以及配備冷凍泵的泵包，為CVD單元提供了最大的工藝窗口。反應堆具有靈活的四區結構，兩個中心工藝區控制溫度。這種方法旨在確保精確的過程控制,允許嚴格的過程結果。這些區域都針對高生產率的CVD處理進行了優化,具有精確的溫度設定點、冷卻時間、目標溫度以及對沈積速率的精確控制。該One-150還配備了先進的工藝控制軟件。這樣可以確保整個晶片的精確保形膜厚度,在客戶設定的公差範圍內具有高度均勻的膜性能和出色的均勻性。該軟件具有精密的參數控制，能夠優化各種工藝化學的工藝條件。它還包括一個綜合的流程配方數據庫，有助於通過受控和可復制的流程確保可重復性。總之，NOVELLUS CONCEPT ONE 150是一款功能強大的CVD機器，旨在滿足半導體行業的苛刻需求。憑借其先進的設計和堅固的構造，它支持廣泛的工藝化學，以提供高性能的工藝結果。其精密的工藝控制軟件可實現精確的保形膜沈積，在整個晶片上具有極好的均勻性。總而言之，One-150是一臺可靠且功能強大的機器，一定會成為任何半導體加工設施中的寶貴資產。