二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是由NOVELLUS Systems Inc開發制造的單室化學氣相沈積（CVD）工具。它是一種高度自動化的工具，能夠以受控、均勻的方式沈積薄膜。NOVELLUS CONCEPT ONE 150以一個固定體積150立方厘米（cc）的矩形反應室為特色。腔室也進行絕緣，以保持熱穩定性。該工具還包括集成惰性氣體和化學蒸汽註入以及現場壓力測量。這提供了精確控制沈積過程參數如壓力、溫度和反應物濃度的能力。為了使腔室加熱冷卻，機器裝有石英電阻加熱器和液氮傳熱塊。機器被封裝在先進的多區溫度控制器中，它允許獨立的區域加熱和冷卻，以及嚴密的溫度控制。CONCEPT ONE-150是一個由可編程中央處理器（CPU）控制的基準CVD系統。它能夠進行一些預先編程的應用，如化學氣相沈積、熱處理和循環。反應器允許沈積多種薄膜，包括氟化多晶矽和氮化矽。它也用於覆蓋晶片與金屬、合金、電介質和絕緣體的小顆粒。NOVELLUS CONCEPT ONE-150具有保持低過程漂移和執行長期運行的能力,非常適合批量生產。它設計用於最低限度的維護和較高的正常運行時間,以降低運營成本。該工具非常可靠，操作和調整簡單，具有非常堅固和可重復的沈積平臺。