二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293813033 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
NOVELLUS CONCEPT One-150是一種用於先進半導體加工的高性能反應堆。利用化學氣相沈積（CVD）或原子層沈積（ALD）工藝,NOVELLUS CONCEPT ONE 150可用於將薄膜沈積在基材上和基材內。它與各種工藝氣體、基材和排放控制系統相結合，使其成為制造納米級結構的通用和適應性工具。CONCEPT ONE-150是基於耐用和久經考驗的XeF2反應器設計,可確保各種薄膜沈積應用的可靠、可重復的處理。反應室本身由以下組件組成：腔室、蓋子組件、源隔室、電源、氣體分配器和輸送系統、氣體排氣口、樣品端口和工藝腔室。所有這些組件都可以定制,以提高沈積速率和加快材料增長。CONCEPT One-150能夠以150 x 10-6 Torr的最高速度沈積反應物，從而能夠更快地制造設備並提高吞吐量。此外，還支持無氫沈積工藝，這為先進的半導體設計提供了經濟高效的出口。NOVELLUS CONCEPT ONE-150設計為易於使用和維護,具有可選的計算機自動化和易於理解的人機界面。它還配備了可編程泄漏測試、自調整調諧範圍等全面的最先進的診斷，確保始終保持最佳狀態。CONCEPT ONE 150還附帶了多種安全協議，以保護人員和財產，包括先進的滅火、真空電平控制、自動關閉和壓力控制系統。總體而言，NOVELLUS CONCEPT One-150提供了一種用途廣泛且可靠的單片反應器，能夠生產出均勻且無缺陷的薄膜。對於要求高精度、高速度、高可重復性的先進半導體處理應用來說，它是一個理想的解決方案。
還沒有評論