二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248601 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一種適合研發的單室、批處理型CVD/ALD（化學氣相沈積/原子層沈積）反應器，以及全方位的先進半導體器件制造工藝。該One-150設計緊湊,可集成到手動處理系統和自動化群集工具中。反應堆室內襯SUS316不銹鋼，並提供額外的輕質鋁合金蓋。腔室尺寸為150毫米（Ø）x 150毫米深，最多可容納30個直徑6英寸（200毫米）的晶圓或12個直徑4英寸（100毫米）的晶圓。它配有一個封閉的射頻加熱設備，允許均勻的溫度達到大氣壓或更低。有一個燃料氣流系統支持廣泛的氣體，包括氧化劑、還原劑、氮化物和氟化物，特殊的腔室可以處理極具反應性的材料。反應堆配有低負載靜電卡盤（ESC），每批最多可容納六個晶片。ESC也很容易自動化,可以配置為手動或集成到群集工具中。該源設計為允許從同一反應堆調度源，允許多種前體。控制單元包括對ESC電網電壓的精細控制和所有關鍵參數的實時顯示。高壓氣體輸送機允許壓力快速變化，允許短處理運行。反應堆還提供可控的沈積速率和溫度，以及可調的總工藝時間。該One-150允許先進的多技術處理能力，同時進行退火、氧化、沈積和蝕刻。它還可以支持更復雜的過程，如大氣和串聯沈積、蝕刻、氧化、蝕刻、沈積和納米技術應用。此外，它的設計還便於融入集群系統。綜上所述，NOVELLUS CONCEPT ONE 150是一種高效、緊湊的CVD/ALD反應堆，具有先進的多技術處理能力和與集群系統的輕松集成。對沈積速率和溫度的粒度控制，可靠的射頻加熱工具，以及精密的燃氣流設計，使得這一資產既適合研發，也適合全面的設備制造過程。