二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248603 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於先進的半導體制造。它提供材料的精密加工，如多晶矽、氧化矽和氮化鋁鈦（AlTiN）薄膜。NOVELLUS CONCEPT ONE 150通過優化的源傳遞和控制，能夠沈積厚度分辨率低至4納米的精密均勻層。它為大規模和小規模生產提供了一致的、可重復的結果。CONCEPT ONE-150專為提高生產率而設計，並與各種n型和p型矽基板兼容。它的專有源輸送設備可確保源源不斷地輸送化學品，而不會泄漏或不希望得到的雜質。化學物質的輸送也受到系統的精確控制，使均勻性低於± 2%的一致層得以實現。CONCEPT One-150的反應室設計用於源氣體的嚴格控制和高效混合，從而實現高效反應和提高膜質量。NOVELLUS CONCEPT ONE-150中的反應是用先進的軟件控制的.它具有一套強大的過程控制功能,允許實時控制、數據收集和分析。CONCEPT ONE 150的顯示單元是為直觀操作而設計的，允許操作員快速訪問和解釋維護所需流程所需的信息。高級診斷,包括反應室的在線視頻,可提供詳細的性能分析。該機器還設計有超壓保護、環境監測系統和主動臭氧監測等安全特性。NOVELLUS CONCEPT One-150提供了處理亞納米尺寸層的功能,從而能夠制造先進的半導體器件。它已成功地用於各種CVD應用中，例如用於先進VLSI工藝的氮化鋁閘門的沈積。該工具提高了流程優化和吞吐量的可重復性,從而實現了更快、更可靠的生產。NOVELLUS CONCEPT ONE 150是先進半導體製造的尖端CVD技術範例。