二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250099 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是一個單晶圓化學氣相沈積（CVD）反應器。設計用於各種介質和導電材料在精確控制條件下沈積在基板上。反應堆采用單晶片負載鎖、淋浴頭分發器、排氣歧管、兩個射頻源和射頻驅動的渦輪機。單片負載鎖使NOVELLUS CONCEPT ONE 150一次可以處理一個基板。該系統采用快速更換襯裏設計，使工藝室可以根據需要快速轉換為新配方。負載鎖還配有爐子，以便在開始沈積之前對基板進行受控熱烘烤。此外，一個先進的泵控制系統可確保在最後的基板加載之前將腔室精確地保持在大氣壓下。接下來，淋浴頭分銷商將工藝氣體均勻地分布在晶片表面上，以確保膜沈積均勻。這種精確分布是通過使用三個獨立的流動路徑來實現的，每個路徑都有30個獨立的出口端口。雙荒地射頻源和渦輪機加強了流量控制，以更高的流量創造更均勻的分布。初始分配後，氣體由兩級排氣系統從反應堆中除去。第一階段確保氣體從基板上快速抽出並從腔室排出。第二階段使用回收殘留汙染物的再循環室進行進一步分析。最後，射頻（RF）驅動的渦輪在反應堆內部產生交替磁場和電場。這種交替場允許電子振蕩，創造出一種高能狀態，非常適合將原子從氣源鍍到基板上。最後，CONCEPT ONE-150是一種多用途的單晶圓CVD反應器，設計用於各種材料的精確沈積。它具有單晶片負載鎖、淋浴頭分銷商、排氣歧管、兩個射頻源和一個射頻驅動的渦輪機。這些組分協同工作，形成完全均勻的沈積，汙染最小，工藝速度更快。