二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250100 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150（C1-150）是一個立式CVD反應堆，專為大批量生產和高吞吐量而設計。該C1-150具有靈活性和可靠性,具有可配置的自動化、可定制的過程參數以及簡化的設計。該C1-150采用堅固的結構和重型部件,可承受高達20 Torr （2.7 kPa）的極端壓力和高達2000 °C的溫度。該C1-150有一個可變、垂直、低壓的反應堆室，裝有綜合抽水設備、高性能熱監測系統和低溫保存裝置。它能夠容納三個沈積源，包括液體、氣體和氣相環境，一次最多可運行14小時。該C1-150提供四種可用容量：PAD（平面陣列沈積），21英寸晶圓容量；COP（閉環氧化物加工），200微米厚度容量；介電蝕刻，10微米深度容量；以及1微米深度容量的Metal Etch。該C1-150配備了SCADA（監督控制和數據采集）機，允許用戶控制工具，實時監控有用的過程參數，並集成到現有系統中。該C1-150還安裝了全自動源體系結構，用於優化過程控制，能夠自我補償以保持過程的穩定性。它具有先進的控制資產,可提供可配置的參數數組,並可以安全地存儲多達99種配方的數據。該C1-150專為潔凈室制造而設計,具有受控的壓力和溫度操作環境,可確保頂級工藝的穩定性。它提供了可配置的安全功能,如減壓閥、溫度保護機制和數字溫度控制器。該C1-150還裝有顆粒洗滌模型、電離氧氣清洗設備、臭氧註入系統和HEPA過濾器。其先進的安全系統，加上集成的流程配方庫，允許用戶定制C1-150以滿足其特定需求。