二手 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436 待售

NOVELLUS CONCEPT One-150是業界領先的超低壓反應堆，專門研究CVD和MVG型工藝。它提供了卓越的控制和條件可重復性,並提供了一整套工藝選項,可實現高級生產。該反應堆設計用於試驗規模和生產規模的制造應用。NOVELLUS CONCEPT ONE 150以聚合物襯裏的腔室為特色，容積可達150升。它還提供了全方位的過程控制參數，包括壓力、溫度和氣流。該設備配置了最多兩個加熱和冷卻的工藝線圈、一個清掃過濾系統和一個既滿足工藝要求又滿足安全要求的柔性壓力平臺。此外,該單元還包括一系列高級診斷功能、集成計量工具和產品質量實時分析。CONCEPT ONE-150易於利用,可用於處理多種材料,包括Si、Ta、Al和Ni。各種過程可以並行運行，如沈積、氧化、濺射和化學蝕刻。電容耦合等離子體（CCP）和電感耦合等離子體（ICP）等先進工藝也是可能的。機器有一個可編程邏輯控制器（PLC），允許簡單的過程控制和監控。它還配備了廣泛的先進數據采集工具，包括光學顯微鏡、FTIR光譜和殘留氣體分析（RGA）。這些工具有助於監測和驗證工藝條件。CONCEPT ONE 150是確保流程性能高質量和可重復性的強大而可靠的工具。該工具具有廣泛的工藝選擇和集成監控工具，非常適合大規模生產集成電路和其他微電子設備。