二手 NOVELLUS CONCEPT One-200 #293760904 待售

NOVELLUS CONCEPT One-200，又稱「Concept One」，是一種獨特的先進幹蝕刻反應堆，用於大批量生產納米級微電子器件。它能夠在高溫和廣泛的工藝條件下可靠地處理各種半導體材料，包括矽、​​和砷化銨。CONCEPT One-200的設計目的是提供無與倫比的溫度穩定性,其溫度曲線保持在目標設定點的0.5°C以內,即使負載變化也是如此。這是由機載溫度監測設備完成的。此外,它還具有數字自動通量補償功能,通過最小化通量方差進一步提高了溫度穩定性,使其保持在盡可能低的水平。NOVELLUS CONCEPT One-200的腔室內襯石墨基材料，以減少磁場，從而防止產品汙染，並且具有廣泛的側面屏蔽，以保護產品免受直接接觸等離子體。反應堆有一根設計為在最小化侵蝕的同時優化電離的源絲，以及保證均勻材料蝕刻的均勻氣體分配系統。CONCEPT One-200配備了智能自動化過程控制單元以實現遠程監控和診斷,以及溫度和壓力分析功能以實現最佳過程控制。機器的另一個特點是葉片式加熱器，它降低了導熱系數，允許更高的等離子體密度和改善蝕刻室內的熱量分布。NOVELLUS CONCEPT One-200提供無與倫比的性能,具有業界最高的工藝質量和可重復性。它是納米級半導體器件大批量生產的理想選擇，使得極高性能的應用得以發展。