二手 NOVELLUS CONCEPT One-200 #9171331 待售

NOVELLUS CONCEPT One-200是一個先進的多功能蝕刻反應堆，設計用於融入半導體制造廠。該設備能夠實現深度、超低溫的蝕刻工藝，具有很高的精度和可重復性，非常適合高精度和高批量生產。該系統的核心是一個感應耦合等離子體蝕刻裝置，能夠產生高達10,000攝氏度的溫度。該等離子體用於在晶圓上創建微尺度結構，寬度小於1 μ m。此精度允許精確控制蝕刻工藝參數、降低成本、提高產量和提高產品質量。該機還采用了能夠在蝕刻過程中精確操作晶片的機器人端效應器，以及一種專利晶片旋轉工具，可最大限度地減少對小特征的損害。一套自動化軟件允許一致且可重復的過程控制,使資產能夠在一次運行中精確蝕刻多個設備。CONCEPT One-200還包括一些旨在提高模型效率和吞吐量的功能。該設備采用多步蝕刻工藝最大限度地減少晶片磨損，並采用了一種算法，可實現精確、自動化的晶片定位和高精度蝕刻運動。NOVELLUS CONCEPT One-200的設計具有高度的適應性和用戶友好性,允許廣泛的應用和集成到現有的半導體制造系列中。其堅固的模塊化結構使其易於安裝和維護,並且其可擴展的系統體系結構允許根據需要進行升級和定制。總體而言，CONCEPT One-200是一種先進的蝕刻反應器，設計用於高精度、高通量和精確、可重復蝕刻。憑借其可靠靈活的設計，它是尋求最大限度提高生產質量的半導體制造商的理想解決方案。