二手 NOVELLUS CONCEPT One-200 #9284358 待售

NOVELLUS CONCEPT One-200是針對半導體生產市場的高生產率PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）反應器。與傳統的PECVD相比，它采用了獲得專利的等離子體源來生產更好的薄膜均勻性。這是通過利用對稱雙淋浴電極設計實現的，該設計將等離子體均勻地分布在反應室內。這種高效的等離子體分布允許更高的沈積速率，典型的納米薄膜厚度從10Å到10,000Å一次運行，同時提供高質量的保形塗層。CONCEPT One-200配備了先進的腔室設計，允許最大限度的基板進入和過程的均勻性。該室具有一個大的矩形射頻電極，它與四個高頻淋浴頭電極一起，創建一個電場均勻分布等離子體。一個維護友好的密封室設計也可以方便室內清潔。NOVELLUS CONCEPT One-200的先進功能超越了等離子增強設備的優勢。它設計為高度用戶友好，具有直觀的控制和模塊化設計，使用戶能夠定制反應堆以滿足他們的應用需求。該系統還提供了廣泛的功率控制功能陣列，允許根據用戶要求形成最佳介電層。此外,CONCEPT One-200極其可靠,制造商提供一百萬個沈積周期的性能保修。這樣可以確保客戶獲得最可靠、最高效的系統生產。NOVELLUS CONCEPT One-200為半導體生產應用提供了強大而高效的解決方案,增強了對沈積過程的控制,提高了均勻性,並提高了吞吐量。簡而言之，CONCEPT One-200是任何半導體生產實驗室的寶貴工具，以經濟的價格提供卓越的質量和性能。