二手 NOVELLUS CONCEPT One C1-150 #9171330 待售

NOVELLUS CONCEPT One C1-150是用於半導體工業的三區水平反應堆設計。該反應器利用先進的工藝控制技術，實現了最優的沈積均勻性和可重復性。監測各種工藝參數，如功率、氣流和壓力測量，以確保適當的薄膜質量。反應器室由前到後分為三個獨立的區域：預熱區、反應區和冷卻區。每個區都有自己的淋浴頭、溫度和氣流。冷熱氣體供應按順序送入腔室，以便對大氣參數和過程定時進行精確控制。氣體流動在這些區域之間是平衡的，以達到所需的氣體壓力、速度、空間上均勻的反應物濃度以及整個腔室的均勻溫度分布。基板在負載鎖定模塊上通過腔室移動。負載鎖定模塊的設計目的是將壓力保持在反應堆內的特定水平，從而使材料能夠安全地從腔室轉移到沈積區域而不會通風。預熱區確保底物在進入反應區前處於所需溫度。可以操縱反應區來控制淋浴頭內的溫度、氣流和壓力。當反應物在底物表面發生化學反應，反應物沈積厚度通過時間和功率控制來控制時，沈積就發生在這裏。冷卻區用於在離開反應室前將底物冷卻至所需溫度。CONCEPT One C1-150反應堆是一個先進的系統，可以靈活和精確地控制沈積溫度、壓力、流量和反應物濃度。這使得它非常適合用於半導體應用的濺射和保形膜沈積。該C1-150被批準用於多種材料，包括金、鈷、氮化鈦、的。它具有精確的工藝控制和均勻性，是工業工藝的絕佳選擇。