二手 NOVELLUS CONCEPT One C1-D #9135536 待售

NOVELLUS CONCEPT One C1-D是NOVELLUS Systems為高級沈積和蝕刻應用設計的下一代高性能反應堆。它提高了生產率和優越的工藝性能，使關鍵微電子元件的制造更加快速高效。反應堆的設計基於這樣的概念，即可以針對電化學沈積、化學氣相沈積（CVD）或等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）工藝的具體工藝需求進行量身定制。為了適應這種靈活性，反應堆采用模塊化方法建造。這允許用戶根據應用程序的特定要求自定義硬件和流程參數。反應堆采用優化節能設計，包括幾項創新技術，包括獨特的Thruster Drive Mechanism、閉環壓力控制設備、可調溫度輪廓、工藝實時監控等。推進器驅動機構允許以較低的能耗水平進行一致的晶圓傳輸和處理。閉環壓力控制系統有助於實現更大的過程均勻性和重復性，同時通過實現精確的過程調整來降低能耗。可調整的溫度曲線允許通過增加均勻性來提高工藝速度,同時還可以降低能耗。最後，可以使用車載實時監控單元監控流程參數，幫助確保最佳流程控制。CONCEPT One C1-D是為了與工業標準晶圓尺寸和電容耦合等離子體（CCP）技術兼容而設計的。該腔室還配備了獨特的水冷射頻源，無需大型外部冷卻機，同時還提供了高工藝均勻性和重復性。此外，該室還集成了先進的自動化工具，用於快速晶圓交換、均勻的電磁場和故障檢測。總體而言，NOVELLUS CONCEPT One C1-D是一種革命性的高性能反應堆，旨在滿足先進沈積和蝕刻應用的苛刻規格。它提供了改進的工藝性能、優化的節能設計和擴展的功能,以幫助簡化關鍵微電子元件的制造。