二手 NOVELLUS Concept One-W #293690378 待售

NOVELLUS Concept One-W是NOVELLUS Systems的半導體反應堆設計，NOVELLUS Systems是半導體器件先進制造工藝設備的領先供應商。NOVELLUS CONCEPT ONE W是一種獨特的雙室等離子體增強型化學氣相沈積（PE CVD）反應器,將物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）結合在一個平臺上。這種高度靈活、多功能的設備非常適合大批量生產各種材料，如低k電介質、先進的Cu互連、顯示應用等。概念One-W利用專利雙腔室技術優化材料沈積，同時降低成本，提高吞吐量。該系統采用25 mtorr蝕刻工藝，能夠產生每秒5,000納米以上的超高沈積速率。這種先進的工藝還能夠沈積復雜的結構，如多層互連和精密的線條和空間。該程序有能力利用兩個獨立的會議廳應用各種填隙技術。CONCEPT ONE W還采用了先進的自動化單元，使刀具到刀具的傳輸、晶圓到晶圓的傳輸以及基板的預處理成為可能。通過集成先進的沈積監測系統，機器還可以測量和監測沈積過程的各個方面，如腔室壓力、過程時間和沈積速率。這種實時反饋為操作員提供了詳細的過程控制，允許提高產量和減少排便。最後,NOVELLUS Concept One-W的設計具有超大的占地面積,這對於更大的工藝要求特別有利。該工具還有望在HDP-CVD和PECVD應用程序中提供高水平的可重復性、可靠性和一致的性能。憑借NOVELLUS CONCEPT ONE W提供的先進功能和優勢，難怪為什麼這筆資產是眾多半導體制造商的選擇。