二手 NOVELLUS CONCEPT One #188571 待售

NOVELLUS CONCEPT One
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT One
ID: 188571
晶圓大小: 8"
PECVD system, 8".
NOVELLUS CONCEPT One是一款革命性的工具,旨在提供可靠、高性能的薄膜沈積。它是一個多合一的輕質反作用室,提供高真空性能,高達2毫巴,以及對工藝條件和塗層參數的精確控制。整個反應堆建立在不銹鋼框架上,設計目的是實現低擁有成本和最大正常運行時間,同時提供無與倫比的性能。NOVELLUS CONCEPT ONE利用經過驗證的脈沖星系統,先進沈積技術的行業標準,精確控制反應物和產品的流動。精密控制過程沈積速率、時間和溫度的能力為薄膜沈積提供了無與倫比的精度和均勻性。CONCEPT One還有一個輕巧的機械臂,支持反應前和反應中各種底物的對準。機械臂能夠使中間層對準和加載,以及更嚴格地控制基材的位置精度。這使得它非常適合高附加值產品的制造。CONCEPT ONE利用垂直熱蒸發源進行過程控制,其中包括:射頻(1-200 MHz)、直流磁控管、直流偏置和電子束。利用這種蒸發源組合,沈積速率可以保持一致,工藝參數可以根據需要進行微調。由於其簡單的設計和尺寸,NOVELLUS CONCEPT One允許在任何環境中輕松安裝和設置。它還易於與現有設備和系統集成,從而提高生產率、降低成本和最大限度地減少停機時間。總體而言,NOVELLUS CONCEPT ONE是當今市場上最先進、生產力最高的反應堆之一。CONCEPT One通過將最新的薄膜沈積技術與多合一設計相結合,以較低的擁有成本提供了廣泛的高質量工藝控制和塗層。
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