二手 NOVELLUS CONCEPT One #66247 待售
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ID: 66247
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Tungsten system, 8"
Pentium computer
One arm robot
Internal Valves
Megapac power supply
Micro contamination
Keyboard and video switch (maintenance)
Flat panel
Optiquest maintenance monitor
Non contact pin search
Wafer on paddle sensor
34 valve pneumatic panel
Terminal Panel (pn 02-027148-00 rev D)
Trazar RF Match
Cooling station
Gas Box Config: Dual Divert
Ar 2 SLM
SiH4 100 SCCM
H2 10 SLM
Ar 20 SLM
WF6 500 SCCM
C2F6 10 SLM
O2 2 SLM
N2 100 SCCM
Ar 10 SLM
H2 20 SLM
1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One是一個行星反應器,旨在為最苛刻的化學反應應用提供高性能的環境解決方案。該反應堆采用最先進的技術,以最高質量的元件和材料建造,以確保最高水平的耐用性和可靠性。反應堆采用創新設計,利用雙室設備,使反應組分和更均勻的反應得到最佳混合。第一室用於混合反應組分,而第二室設計為包含產生的反應產物。反應室的設計是通過溫度控制和剪切速率來精確控制反應。反應堆具有旋轉旋轉板,允許低剪切速率和均勻的熱量分布,以確保熱均勻性。該反應堆非常適合短期和連續運行,使過程具有靈活性和產品可變性。此外,反應堆還可以方便地去除產品,以便進一步加工或測試。NOVELLUS CONCEPT ONE還有一個名為「主動混合策略」的高級功能,允許在廣泛的反應條件下連續混合反應組分。系統采用閉環控制策略,確保反應組分從第一腔到第二腔的主動混合。這樣可以確保最終產品的均勻性。反應堆還配備了先進的安全裝置,以盡量減少或減少對人員和操作員的風險。使用安全機器也使反應堆和工藝環境面臨的風險降至最低,使其能夠在滿負荷運轉下持續運轉。該反應堆為化工工藝行業提供了高性能的反應解決方案,提供了一個生產高質量、一致產品的強大高效平臺。CONCEPT One反應堆為最苛刻的反應應用提供了高科技可靠的解決方案。
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