二手 NOVELLUS CONCEPT One #73827 待售

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製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT One
ID: 73827
PECVD system, 5" Main body Booster pump Reacor dry pump LL pump Scrubber Generator Power requirements De-installed 1994 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One是為先進微電子市場而設計的高生產力、晶圓處理反應堆。它是同類中性能最高、最可靠和最靈活的反應堆之一,能夠提供可定制的工藝濃度和溫度。它配備了專利的NOVELLUS Drive設備、專利的NOVELLUS霧化系統和NOVELLUS Controlled Cooling單元,使其成為需要高性能和性價比晶片處理的制造商的理想選擇。NOVELLUS Drive Machine (NDS)是一項先進的技術,能夠提供精確、穩定和可重復的工藝條件,以實現最高的生產率和產品質量。它采用了一種創新的電機、電機驅動軸和數字編碼器,以高精度跟蹤軸的運動。這提供了最佳高能過程所需的高水平控制,並且比常規反應堆的過程穩定性提高了45%。NOVELLUS霧化工具(NAS)結合了高效霧化和精確的過程控制。NAS允許用戶控制能效、過程溫度和濃度,它旨在提供定制的過程以滿足特定需求。NOVELLUS受控冷卻(NCC)資產旨在幫助降低與冷卻相關的成本,並通過在過程停止前將晶片均勻冷卻到安全溫度來保持產品質量。它使用先進的線性驅動電動機來精確調節工藝溫度,提高冷卻速率,減少熱梯度應力,並在整個晶片中創造均勻的溫度。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆是尋求在微電子行業取得優勢的廠商高效可靠的選擇。它設計為一站式解決方案,可提供卓越的性能和精確、可預測的過程控制。它具有多功能性、耐用性和精確度,是尖端、高性能工藝的理想選擇。
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