二手 NOVELLUS CONCEPT One #9026266 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一個下一代反應堆，設計成可擴展和量身定制，以適應不斷增長的半導體產業的獨特需求。它是一個冷墻EUV源，能夠精確制造現代半導體器件制造中使用的元件。它能夠在1m x 1m的廣域內產生150-400 mW/cm2的功率密度,在40 cm的廣域內產生平均相幹長度。此功率密度能夠將高效EUV系統的分辨率降低到0.15 nm。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆采用集成氣體噴射設備，采用自動氣體混合技術，使其能夠在激光腔加熱的情況下產生改進的激光輸出。這種一致的熱剖面改善了激光束的聚焦，並允許對過程進行精確的控制。它進一步確保了該工藝的可重復性和穩定性，從而提高了產量和更好的工藝加法器。CONCEPT One還具有一個有源循環冷卻器，該冷卻器可將激光保持在恒定溫度下，放大反應堆上的介質和光學元件。該熱管理系統與原位診斷和反饋冷卻系統配合使用，以提高反應堆的輸出穩定性，從而對工藝參數進行微調。CONCEPT ONE還具有一個原位診斷單元，它允許測量制造過程周期中光束特性的時間演化。這樣可以確保精確的光束輸出,並隨著時間的推移最大程度地減少對光學器件的損壞。此外，反應堆還具有高效的EUV源，從而創造了一種更有效的從激光到光學器件的能量傳遞方式，從而降低了功耗。NOVELLUS CONCEPT One是一個優化的EUV源反應堆，能夠推動半導體行業取得成功。其動力和溫度控制系統，加上其現場診斷和集成的氣體噴射機，使其成為一種可靠而堅固的產品，高效且適合半導體行業的挑戰性需求。