二手 NOVELLUS CONCEPT One #9089208 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種尖端的化學氣相沈積（CVD）反應器，利用先進的工藝技術，實現從半導體器件到OLED顯示器等各種產品的高精度、高生產率的制造。NOVELLUS CONCEPT ONE的設計允許嚴格的過程通量控制和高吞吐量,以滿足從研發到大批量生產的一系列生產需求。它具有廣泛的應用，包括用於高級微處理器的高k CVD和低k CVD，以及用於OLED顯示器和微電子設備的介電沈積。CONCEPT One還具有遠程操作功能,使用戶能夠從遠程位置啟動、監視和完成進程。此功能允許自動化的過程控制和優化,最終導致優化的生產吞吐量。該反應堆基於NOVELLUS專利的熱分離室（TSC）技術，該技術提供多個室的同時熱控制和大面積沈積。這種多區腔室能夠在整個過程中實現非常均勻、高質量的沈積,從而無需進行額外的調整或手動調整。CONCEPT ONE配備了自動啟動功能，當用戶設置反應堆時，它提供了一個邏輯自動化的過程。它還有一個數據收集系統，在過程中獲取實時信息，從而增加吞吐量並能夠快速評估和改進過程。NOVELLUS CONCEPT One的設計和構建具有靈活性,可互換模塊易於拆卸和互換,以適應不同的工藝需求。此外，反應堆符合NOVELLUS Easy of Inspection計劃，有助於確保工藝流程在任何時候都得到優化。總體而言，NOVELLUS CONCEPT ONE是一個最先進的CVD反應堆，利用先進技術提高生產效率和質量。它具有多種特性和功能,如遠程操作、自動啟動和多區域控制,允許用戶提高生產速度、提高準確性和面向未來的流程。