二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096029 待售
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NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc開發的革命性反應堆技術。它旨在提高薄膜和先進材料結構的生產效率,同時提高工藝吞吐量和產品產量。線性反應堆設計將高溫化學氣相沈積(CVD)源與高效換熱設備相結合,產生了廣泛的沈積速率和成分控制。使用兩個獨立的CVD源還可以獲得理想的薄膜質量,如表面均勻性和化學成分。這一反應堆技術在材料工程領域擁有20多年的經驗,使原子層沈積(ALD)、金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)、改性大氣化學氣相沈積(MACVD)等先進工藝成為可能。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆將包括一組定制設計的高溫CVD元件在內的幾種先進技術整合到單一的線性反應堆設計中。這些CVD元件被一個獨特的熱交換系統所補充,該系統能有效地分配廢熱,並有助於管理沈積時間和等離子體溫度。反應堆還設有一套安全殼和調節系統,以幫助保護操作員,並創造穩定和安全的反應堆環境。這種配置提供了統一的溫度控制、高效的工藝溫度變化以及大範圍的沈積速率,允許先進的材料結構能力。CONCEPT One反應堆是一個先進反應技術的例子,與傳統系統相比,它提供了許多好處。它具有移動性、易用性和高能效,並且能夠使用單個單元執行多個物料過程,從而節省了時間和資源,同時提高了產量。此外,機器體積小,在生產環境中的占用空間最小,因此適合用於研究、原型設計甚至工業應用。總體而言,CONCEPT ONE是一個功能強大且用途廣泛的反應堆,能夠精確調整所需的材料和結構。這種獨特的設計是由先進技術觸發的,能夠高效生產各種薄膜和先進的材料結構,以安全可靠的方式提供更高的吞吐量和產品產量。
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