二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096031 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種高通量、基於等離子體的反應堆，專門為先進的半導體制造工藝而設計。它能夠在單晶圓環境中提供過程解決方案,從而提高了FB的生產效率、一致性和可擴展性。NOVELLUS CONCEPT ONE由Drossom提供動力，Drossom是獲得專利的低溫電弧等離子體源，提供超高離子通量（高達10^20 離子/cm2/sec）。這使它能夠在等離子體處理之前預先清潔和增強晶片的表面。它是唯一提供這種超高離子通量同時保持低總擁有成本的同類產品。CONCEPT One還設有脈沖星預清潔模塊，使用單個低壓工藝室提供高溫處理。該模塊可用於處理碳沈積和模式誘導的產量損失等難題。它還使用戶能夠提高工藝吞吐量，實現更高水平的薄膜均勻性。CONCEPT ONE有一個分布式架構，四個反應堆結合兩個或四個過程，以達到最大吞吐量。這允許快速縮放，並支持多晶矽沈積和摻雜等先進工藝。該反應器精度高，利用先進的自動調諧算法實現了快速優化和可重復性。NOVELLUS CONCEPT One是下一代半導體制造的革命性平臺，具有高精度工藝控制、卓越的均勻性和快速吞吐量的空前組合。它為大批量制造能力提供了理想的解決方案，並且是唯一為先進工藝技術而建造的高通量反應堆。