二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096032 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種下一代蝕刻反應器，旨在實現半導體制造環境中晶圓的更快、更高效的加工。它具有突破性的過程功能,使產品制造商能夠在降低成本的同時擴展生產效率。NOVELLUS CONCEPT ONE利用物理、化學和生物組分的新穎組合，達到同級中最高的蝕刻速率性能。該反應器的核心是一種創新的超高密度等離子體微觀薄膜和微觀結構的組合，從而驅動蝕刻速率和優化工藝性能。與傳統蝕刻工藝相比,高級蝕刻工藝提供了卓越的精度、選擇性和可重復性,使客戶能夠減少生產時間和整個工藝時間。反應堆還具有獨特的機械臂設計，允許晶圓處理設備的直接和精確操作，以及自動晶圓檢查。這種先進的晶片處理能力確保了對過程的極其嚴格的控制,並顯著降低了每晶片的成本。CONCEPT One還具有統一氣體分配和氣流控制的專有組合，以進一步確保過程的重復性和可靠性。這種獨特的氣體分配系統利用先進的幾何形狀來確保蝕刻劑和加工氣體的均勻輸送，從而能夠快速優化蝕刻速率和加工條件。最後,CONCEPT ONE采用了一種新的後處理方法。集成的後處理功能允許快速、輕松地將其他過程納入蝕刻循環,從而允許組合過程,如清潔和PVD,或PVD和蝕刻。這種先進的後處理功能縮短了工藝時間,改善了晶圓質量,並顯著節省了成本。綜上所述，NOVELLUS CONCEPT One是一個可靠、高性能的蝕刻反應堆，可實現更高的吞吐量、更快的循環時間和顯著降低的成本。通過利用超高密度的等離子體、機械臂、均勻的氣體分配和先進的後處理能力，它為制造商提供了在不斷發展的半導體市場上擴大生產力和保持競爭力所需的工具。