二手 NOVELLUS CONCEPT One #9096052 待售

NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc.開發的先進技術蝕刻反應器，用於最先進的矽蝕刻應用。該反應堆采用動態端點控制（DEPC）技術,使其能夠實現顯著更高的蝕刻速率、更好的工藝控制和改進的叠加配準,從而最終改善半導體生產過程。NOVELLUS CONCEPT ONE利用獲得專利的DEPC技術使反應器能夠精確控制化學輔助反應性離子蝕刻（CARE）過程,方法是管理將離子引入過程的速率,並對不斷變化的端點條件做出反應以提供最佳的過程性能。這項技術還允許反應堆實時監測和評估蝕刻工藝的狀態，從而導致更高的蝕刻速率和提高的工藝精度。CONCEPT One反應堆還具有獲得專利和最先進的腔室幾何形狀，可降低氣體噪聲並提高過程穩定性。該反應堆配有快進氣體輸送系統，便於快速精確的氣體輸送，以及專有的接觸器Edgestripet，提供光滑的邊緣和更好的各向異性蝕刻輪廓。為了獲得最佳性能,CONCEPT ONE反應堆可以配置各種高級過程控制選項,包括過程監控、過程和質量保證、過程數據收集和過程配方管理,從而實現了整個過程控制並提高了操作效率。反應堆還支持廣泛應用的先進工藝配方，進一步提高工藝靈活性和控制。最後,NOVELLUS CONCEPT One是先進半導體生產的理想蝕刻反應器,具有更高的蝕刻速率、更好的工藝控制、更好的叠加配準和更高的工藝穩定性,是改進半導體制造工藝的理想工具。