二手 NOVELLUS CONCEPT One #9101005 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種革命性的反應堆，能夠在單個設備中提供高性能、高通量、低溫鈍化和蝕刻工藝。它是業界首個此類產品,旨在應對業界最復雜的挑戰-從先進的邏輯設備到高級包裝中的高長寬比接觸結構。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆以1400°C的熱墻、淺溝隔離（STI）蝕刻能力和高通量基板處理的獨特組合運行。熱墻產生高沈積速率、低溫熱過程和有限的化學活性。這允許在最先進的應用程序中更快地跳轉到新技術節點並提高設備產量。淺溝隔離（STI）蝕刻被設計成在芯片特征上產生高質量、高縱橫比的特征。該系統的高通量基板處理使得每小時可以對百余個晶片進行陣列處理。這種高性能蝕刻功能在不犧牲吞吐量的情況下增強了臨界長寬比和整體圖像質量。CONCEPT One反應堆的靈活性也允許在磁帶輸出和生產氣氛中使用。可變壓力室（VPC）單元允許用戶與該室之間的動態界面,以確保實時處理環境條件的所有變化,從而確保產品的質量。這是通過將基板上的真空和氣體流動與應用程序的外部輸入相匹配來實現的。CONCEPT ONE還配備了幾項高級高性能功能。它能夠通過使用專用傳感器陣列提供過程監控反饋以及性能反饋。這允許機器自行調整以適應不斷變化的流程環境，以保持應用程序的最終性能。此外,該工具的自學功能使其能夠優化每個特定應用程序的參數。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆將鈍化和蝕刻工藝提升到新的水平，提供比以往更快的高質量產量。NOVELLUS CONCEPT ONE及其前沿功能使令人振奮的新性能潛力成為可能。