二手 NOVELLUS CONCEPT One #9113371 待售

NOVELLUS CONCEPT One
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT One
ID: 9113371
晶圓大小: 8"
TEOS System, 8".
NOVELLUS CONCEPT One是為薄膜化學氣相沈積(CVD)而設計的一種反應器。反應堆的設計效率最高,為各種工藝提供了最高的性能和生產率。它是為自組裝單層(SAMs)的沈積而設計的,單個循環最多可沈積五層。反應堆配有高性能閥門、溶液控制設備(SCS)和先進的過程控制系統。NOVELLUS CONCEPT ONE反應器能夠控制底物溫度、反應化學和沈積壓力,以及其他參數。它還配備了高精度的氣體控制系統,可以控制氣體和蒸氣流量。反應堆利用多個電極和電源。這一特性在沈積過程中提供了靈活性,允許用戶輕松調節溫度、溶液、壓力和氣流,以優化薄膜的沈積。CONCEPT One有一個先進的溫度控制單元,可維持各種過程的溫度,如熱輔助CVD(TAV)、氧氣輔助CVD(OAV)和化學輔助CVD(CAV)。溫度由多個熱電偶調節,這些熱電偶放置在腔內,實時監控。本機優於典型的溫度控制器,它突然改變溫度,需要頻繁的刀具重新校準和手動調整。CONCEPT ONE的高級解決方案控制資產(SCS)提供了對溶液化學的無與倫比的控制。它包括兩個組件:陽極活化和陰極活化.陽極活化允許底物和樣品通過電位、溫度和反應時間進行預循環。陰極活化允許底物按電位、溫度和反應時間進行後循環處理。該模型提高了沈積過程的可靠性和可重復性。NOVELLUS CONCEPT One反應堆采用先進的工藝控制設備設計,作為用戶與反應堆的主要接口。它提供了所有流程的說明,以及有關流程參數的實時反饋。該系統提供的信息也被用於優化沈積過程。該單位能夠診斷異常,采取糾正措施並提供詳細的過程直方圖。以上提到的所有特性都結合在一起,使NOVELLUS CONCEPT ONE成為一種高效和高產的反應堆,用於化學氣相沈積應用。機器使用戶能夠準確控制各種工藝的沈積參數,優化工藝,提高沈積的吞吐量和產量。憑借其先進的特點,CONCEPT One是沈積薄膜的優越反應器。
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