二手 NOVELLUS CONCEPT One #9144774 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種高性能的單晶圓反應器，設計用於半導體制造中的高級沈積和蝕刻工藝。NOVELLUS CONCEPT ONE采用了一種新穎的單晶圓體系結構，提供了優越的控制和產量，優化了晶圓的對稱性和均勻性。CONCEPT One專為減少粒數而設計，並配備了先進的過程監控能力。它采用模塊化的單晶片設計，采用加熱基板以最大限度地提高均勻性，采用先進的氣流設備以確保對壓力和流量的精確控制。CONCEPT ONE有四象限真空室設計，每個過程都有單獨的腔室，以盡量減少交叉汙染。它還包括具有四個獨立載波的獨特傳輸機制，從而提高晶圓吞吐量和均勻性。此外，NOVELLUS CONCEPT One擁有專有的電機系統和控制板，能夠增強溫度和壓力控制。對於沈積，NOVELLUS CONCEPT ONE支持廣泛的基材和材料，包括導電膜和非導電膜。反應堆有一個可調水冷陶瓷框架和先進的光學顯微鏡，確保精確對準。該單元還包括一個自動化的基板表面檢測站，以確保可重復性和均勻性。對於蝕刻,CONCEPT One設計用於降低運營成本、提高產量和提高晶圓均勻性。該反應器具有新型的電感耦合等離子體源，其設計目的是減少等離子體損傷，提高步進覆蓋率。此外，反應堆支持多種蝕刻化學方法，包括濕法和幹法。CONCEPT ONE還配備了先進的過程控制機器，提供對整個過程的實時洞察。此功能允許用戶監視流程參數、深入了解流程條件以及優化流程參數。此功能還允許更快的校準和過程設置時間。NOVELLUS CONCEPT One是一種高度先進、高性能的單晶圓反應堆，專為最苛刻的應用而設計。它具有新穎的設計和先進的特點，使沈積和蝕刻過程具有優異的性能和均勻性。NOVELLUS CONCEPT ONE是半導體和其他先進技術應用的理想選擇。