二手 NOVELLUS CONCEPT One #9144937 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種高速、高性能的蝕刻沈積反應器，設計用於先進的半導體制造工藝。它利用最先進的技術，在矽、零、銅、鋁等多種材料中提供低成本、高質量的薄膜沈積和蝕刻。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆具有獨特的設計，在高速提供大面積單晶圓處理的同時保持小占地面積。這樣可以最有效地利用工廠中的空間。CONCEPT One有先進的溫度控制設備，包括自調溫度控制器和直流電（DC）偏置。這種先進的溫度控制系統降低了不同載荷下的腔室不穩定性，從而降低了熱損傷的可能性。CONCEPT ONE反應器還具有高速、高精度的流量控制單元，以確保精確的薄膜沈積速率。這臺機器允許薄膜在晶圓表面最均勻和最具反應性的沈積。此外，反應堆具有高性能等離子發生器。該發生器的設計目的是向晶片表面輸送高濃度的反應性物質，從而有效地蝕刻薄膜。NOVELLUS CONCEPT One反應堆還包括一個載荷鎖定室和載荷/卸載管理工具。該資產簡化了晶片進出模型的裝卸過程，從而提高了工廠環境的生產率和安全性。還包括消磁、註氣管線和安全控制，以保證操作員的安全。最後，反應堆帶有強大的軟件用戶界面，使設備易於操作和編程。這允許使用實時監視和診斷、配方、遠程操作和控制以及數據日誌記錄等功能。用戶界面還支持系統的多階段設置和定制，以實現最大程度的易用性。總體而言，NOVELLUS CONCEPT ONE是一種強大可靠的反應堆，設計用於各種材料的高質量、高精度的蝕刻和沈積。其先進的溫度控制單元、精確的流量控制、高性能的等離子體發生器，使其成為當今先進半導體制造工藝的理想選擇。