二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148238 待售

NOVELLUS CONCEPT One反應堆是一種革命性的新型裝置，旨在提高半導體產量。它是一個物理氣相沈積（PVD）反應堆，與傳統系統相比提供了更高的控制和明顯更高的工藝精度。反應堆的多室設計以腔體、旋轉基板加熱器和加熱蓋為特色，確保整個反應過程溫度一致。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆的主體是一個集成的晶片處理系統，由一個插槽板和一個裝載機/卸載機組成，以確保晶片的快速準確的裝卸。它還能夠對壓板進行位置控制，以確保精確的沈積過程。旋轉基板加熱器的設計旨在將熱沖擊限制在晶片上，從而提高工藝的重復性，更好地控制沈積工藝。加熱的蓋子提供了四個獨立的溫度區，橫跨腔室的熱長度。有了這一特點，每個區域都可以獨立操作，以實現工藝的靈活性和準確管理晶片加熱的能力。加熱的蓋子也顯著降低了腔室內部的熱質量，導致內部溫度快速甚至升高。CONCEPT One反應器的設計是提供直接的溫度測量和控制板材和基板相關的溫度。這有助於確保更準確和可重復的沈積過程。這種先進的控制系統還能實現腔室壓力、濺射電流、射頻功率和射頻匹配等廣泛的控制參數。這確保了高度的過程可重復性和可靠性。CONCEPT ONE反應堆是一個極先進的PVD系統，提供前所未有的過程控制和精度。NOVELLUS CONCEPT One反應堆以其多重腔室設計、獨立溫區、直接溫度測量、廣泛的控制參數，是任何希望顯著提升生產線效率的人都不會動腦筋的。