二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148330 待售

NOVELLUS CONCEPT One是由NOVELLUS Systems, Inc開發的先進蝕刻反應堆。它有一個專利噴射浸入工藝，用於精確控制氣體在反應室內的流動和快速蝕刻基板上的結構。NOVELLUS CONCEPT ONE消除了常規蝕刻點火器的需要，允許蝕刻時間最多減少60%。CONCEPT One的特色是一個真空密封室，有多個氣體輸入和氣體排氣歧管。腔室設有蝕刻氣體入口，以及氣體擴散系統，以高效、均勻和均勻的流動分散蝕刻氣體。蝕刻氣體隨後被困在旋風毯中，允許非常均勻，甚至蝕刻基板。CONCEPT ONE是一種低成本蝕刻反應堆，具有經濟上的成本效益，提供多種蝕刻工藝。它配備了PLC控制器，以便對蝕刻過程進行精確控制，如氣體流量、溫度、壓力和整體操作條件。這樣可以獲得最佳的工藝產量和優越的蝕刻質量。噴射浸入過程確保要蝕刻的蝕刻區域完全被蝕刻氣體覆蓋，使用的氣體量可以得到嚴格控制。該過程發生在低壓環境中，蝕刻時間最多可減少60%。NOVELLUS CONCEPT One還具有先進的介電蝕刻工藝。這些過程具有多氣體等離子體和動態高性能磁場，允許最佳蝕刻質量。可調射頻等離子體還提供了更大的過程控制，減少了持續修改的需要。概念1還提供雙源等離子體選項。此功能允許動態過程更健壯,並產生更高質量的蝕刻。雙源等離子體也減少了對等離子體腔充電的需要，提高了蝕刻生產率。NOVELLUS CONCEPT ONE是理想的蝕刻反應器，提供快速反應時間，可靠的工藝和經濟高效的操作。適用於廣泛的工業應用，提供基材精密蝕刻，工藝產量最佳，蝕刻質量優越。CONCEPT One是一個功能強大、經濟的蝕刻反應堆，在制造幾乎所有行業使用的重要部件和裝置時必不可少。