二手 NOVELLUS CONCEPT One #9149818 待售

NOVELLUS CONCEPT One反應堆是一種下一代制造工具，旨在通過創新設計提供卓越的性能和設備靈活性。在其核心，NOVELLUS CONCEPT ONE反應器是一種高溫化學氣相沈積（CVD）系統，旨在通過快速的基板冷卻、優越的溫度和過程控制、快速的基板交換和短熱循環等特性提供卓越的性能。該反應堆的設計目的是通過多個工藝頭工具和多個工藝室等特點最大限度地提高工藝靈活性和能力，提供同時處理多達四種不同工藝配方的能力。該單元與多種材料和底物兼容，包括標準矽、砷化氙、氮化物等。該機器還能夠處理各種材料的各種工藝參數。CONCEPT One反應堆的溫度控制工具確保每個過程步驟在最佳溫度下執行。溫度控制在循環過程中監視基板的溫度，並使用先進的算法來優化每個過程的溫度。此外，資產的溫度範圍很廣，可以進行各種各樣的沈積過程。該模型還采用了快速基板加載/冷卻設備，它提供了快速生成優越的結果，甚至更快的周轉時間。該系統具有快速基板加載/冷卻機制,可快速更換基板時間,最長可達60秒。這有助於控制沈積均勻性和最小化顆粒積累。CONCEPT ONE是基於多室設計和直觀用戶界面的高級單元。這臺機器能夠提供可靠、靈活和一致的結果。該工具旨在實現較高的吞吐量速率並最大程度地減少停機時間,以最具挑戰性的流程所要求的可重復性和速度提供卓越的性能。