二手 NOVELLUS CONCEPT One #9158667 待售

NOVELLUS CONCEPT One是NOVELLUS Systems開發的一種革命性反應堆技術，用於先進的半導體生產工藝。該反應堆由石墨再入容器、加熱工藝區和圍繞工藝區的石英直列式絕緣組成。容器包含一個階梯狀的閉環結構，有五個部分；主線閥、上遊閥、下遊閥、預堆和反應堆。Mainline閥門充當入口閥門，控制過程氣體流入反應堆，以創造所需的過程條件。上遊閥門用於控制上遊壓力並啟動過程啟動，下遊閥門用於調節壓力以維持所需的過程條件。預堆部分包含基板加熱器，為反應堆前的工藝區提供均勻加熱。然後反應堆部分由兩個室組成，即工藝室和底物室。製程室包含氣體噴射器，用來將所需的製程氣體套入腔室，以及質量流量控制器，將氣體平均分佈通過腔室。加工室內的不銹鋼襯裏襯有石墨絕緣材料，而石英絕緣材料則放置在該室的外部。這有助於維持製程區的溫度，而製程室本身有水平的設計，以確保全體的加熱速率均勻。基板室還包含一個石英絕緣層，以幫助維持所需的溫度，以及石英襯裏的氣體噴射器和質量流量控制器在半導體制造過程中提供工藝氣體的統一應用。NOVELLUS CONCEPT ONE反應器的設計目的是將均勻的高溫過程送入基板。它已被證明是先進半導體生產的可靠和有效的系統，其簡化和高效的設計允許靈活性、易於調節的氣流和最低限度的維護要求。