二手 NOVELLUS CONCEPT One #9169829 待售

NOVELLUS CONCEPT One Reactor是一種最先進的專有晶圓處理技術，專為高通量應用而設計。這種介電蝕刻反應器設計用於最大蝕刻速率、提高介電選擇性和最大蝕刻均勻性。NOVELLUS CONCEPT ONE的主要應用包括高縱橫比特征的蝕刻，包括閘溝、淺溝和接觸孔。反應堆因其先進的加工技術、高通量的設計、熱均勻性的增強而具有無與倫比的性能。它還采用了三維屏蔽設計，適應了高長寬比系統，從而提高了產品質量。專門加工室采用了前所未有的技術組合，可實現精確的蝕刻控制、高產率和改進介電均勻性。它還有一個直接噴射源，具有精確的氣流控制，允許對腔室進行編程，以便在腔室內的任何給定點精確流動。此功能最大程度地提高了均勻性,實現了工藝靈活性和精確的高長寬比蝕刻。CONCEPT One的高長寬比特性允許蝕刻有時高達150：1長寬比的溝槽和接觸孔。這需要比傳統蝕刻技術更高的功率和更高的蝕刻速率。為此，CONCEPT ONE利用單頻微波源和離子輔助蝕刻技術提供精確的蝕刻均勻性和角度控制。NOVELLUS CONCEPT One內置自動化，堅持大批量生產能力。對反應性流量控制等工藝參數進行了優化，確保了工藝的重復效果，保證了高產率。機器人操作的設備允許快速和精確的過程控制，這進一步有助於提高生產效率和可靠性。最後，NOVELLUS CONCEPT ONE是一個業界領先的晶圓處理系統，具有較高的蝕刻速率、選擇性和均勻性。其介電蝕刻反應堆、自動化控制和集成的單頻微波源可適應高長寬比設計，從而提高產品質量和提高生產吞吐量。