二手 NOVELLUS CONCEPT One #9193243 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種先進的等離子體反應堆，為半導體工業提供高精度的加工。該反應堆利用獨特的磁約束氙等離子體和自由電子激光光學的組合，創造了一個高效和成本效益高的制造半導體器件的工藝。這個最先進的反應堆是由領先的半導體制造高科技解決方案提供商NOVELLUS Systems, Inc.開發的。等離子體反應室（PRC）是NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆的心臟。這個腔室由光學窗、電源窗、腔室壁等幾個組件組成。中華人民共和國采用了獨一無二的氙等離子體和自由電子激光光學的組合，提供了精確的控制，並確保了加工過程中的可重復精度。氙等離子體被室外螺線管產生的磁場保持在適當的位置。當等離子體通電時，它充當反應性物質或中性物質的氣體模式濺射源，從而實現更大的控制和過程靈活性。光學封裝產生衍射定位的能譜形狀，以增加過程選擇性離軸和中心軸。CONCEPT One還配備了先進的高功率射頻驅動設備，以提供最佳的等離子體控制。該驅動系統與等離子體頻率精確匹配，產生大規模脈沖磁場以避免電弧產生所需的等離子體形狀。該反應堆的先進控制裝置確保了一個可靠和可重復的精密控制過程。這臺機器的設計是為了補償參數化的變化，如變化的背景或組件的汙垢。CONCEPT ONE兼容半導體加工行業標準材料和配置。憑借其獨特的射頻驅動系統、光學和等離子體生產組合，這座反應堆可以處理多種底物和半導體材料，精確度和精度都非常出色。對NOVELLUS CONCEPT One的設計進行了優化，使其能夠高產生產質量最高的半導體器件，為制造商削減周期時間和成本。