二手 NOVELLUS CONCEPT One #9194261 待售
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NOVELLUS CONCEPT ONE是一種革命性的新型精密加工反應堆，被廣泛認為是制造、沈積和蝕刻半導體晶片的最先進、最通用的工具。該反應堆在當今最先進的半導體制造工藝中得到廣泛應用，能夠將多種金屬、氧化物、氮化物和其他材料沈積到微觀半導體晶片上。NOVELLUS CONCEPT ONE由多工藝、多基板沈積設備提供動力,便於在同一工具中實現多工藝能力。這種精密沈積過程依賴於使用原位的、SpectraLIVE™激光為基礎的檢測系統，該系統可實現一致的晶片對晶片和一組一組的過程數據。這一單元還可以在沈積過程中實現高精度，並能夠對有機物和無機物進行嚴格的過程控制。CONCEPT One的核心是一種新型的磁控管濺射源，其設計目的是在沈積過程中提供極高的精度。這個來源可以調諧以提供銅、鈦/鎢、鎳磷等材料的沈積。此外，該源還能夠精確沈積氮氧化鋁、氧化鋁等氮氧化物材料。磁控管源可以在基板上對材料圖樣進行超細蝕刻，從而產生亞微米結構。這種先進的機器還利用先進的等離子體控制及其流行的快速熱處理（RTP）工具。與傳統方法相比，這種資產可以將加工時間縮短近75%。RTP能夠在基板上進行均勻加熱以及快速退火晶片。這樣可以提高步長覆蓋範圍和更快的處理吞吐量。CONCEPT ONE反應堆是先進半導體制造工藝的強大工具，非常適合制造低密度和高密度的微電子器件。磁控管濺射源和RTP模型的結合確保了材料的極精確沈積，從而提高了性能和可靠性。這座革命性的反應堆是任何先進半導體制造工藝的完美工具，將有助於將工業推向一個新的高度。
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