二手 NOVELLUS CONCEPT One #9222493 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種高速、高精度等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。該反應堆設計用於在多個晶片上進行廣泛的沈積、蝕刻和沈積蝕刻過程。通過等離子體激活、多區域過程和動態自適應調整，它提供了比傳統技術更大的均勻性和更好的過程控制。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆由真空室、天線設備、渦輪泵、射頻發電機和狹縫閥組成。在真空室內部，反應性氣體、氫氣、氮氣和氙氣以所需的速率通過狹縫閥引入反應區。狹縫閥由氣壓驅動，可調節進氣流。高頻射頻（RF）產生激活過程氣體所需的等離子體，並通過天線系統耦合到反應堆。采用掃頻技術對天線單元進行了優化。這使得射頻發生器能夠識別天線機的諧振頻率，允許對過程參數進行精確控制。一旦射頻發生器耦合到天線工具，渦輪分子泵就用來維持真空室內所需的壓力。泵將過程氣體分子從腔室中移除，並允許對腔室中的壓力進行精確調整，有助於在過程中保持可重復性。在加工室內，射頻發生器產生一個單色波能，激發過程氣體分子。受激分子然後相互反應，在底物上形成薄膜。通過調整脈沖的直流偏差和持續時間以及過程氣體的壓力、溫度和流速，可以精確調整等離子體種類、過程氣體和基板之間的相互作用。CONCEPT One反應堆是一種通用、高效的沈積工具，增強了過程的均勻性，消除了晶圓對晶圓的可變性。其多區配置和動態自適應調諧可實現精確控制，並實現高級材料的高質量沈積過程。它非常適合先進的產品和工藝開發,可用於制造微結構和納米結構組件。