二手 NOVELLUS CONCEPT One #9224615 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種PECVD/CVD紅外誘導的等離子體增強型化學氣相沈積（PE-CVD）反應器，旨在實現薄膜層的低溫沈積。其設計結合了多種特點，使其成為包括微電子、汽車、航空航天等行業材料沈積的靈活可靠平臺。反應堆由射頻源、工藝室、工藝控制設備、工藝機器人等幾個主要部件組成。射頻源用於生成沈積過程中使用的等離子體源。工藝室是發生沈積的腔室，通常包含一個基板支架、一個較低的電極和一個氣態前體輸送系統。過程控制單元用於控制整個沈積過程中的過程參數（如壓力、溫度、氣流）。加工機器人負責樣品基板的裝卸和加工室內基板的轉移。反應堆由於其獨特的設計，能夠實現非常低溫的沈積。下電極利用低溫等離子體，上電極利用高溫等離子體。沈積過程中，下部電極的等離子體用於產生均勻的溫度，從而允許均勻的沈積結果。上電極的等離子體也用於降低表面接觸點溫度，從而在沈積過程中進一步降低基板溫度。為了進一步改進工藝，NOVELLUS CONCEPT ONE采用先進的閉環工藝控制機設計。該工具使用多種傳感器來監控工藝參數，如每個電極的位置、基板的溫度、氣體流速等等。然後，該資產可用於根據需要微調工藝參數，以確保可重復性和最佳沈積結果。總體而言，CONCEPT One是一個可靠和靈活的沈積平臺，能夠在非常低的溫度下提供可重復的沈積結果。其獨特的設計、先進的工藝控制模型和無刀具操作使其成為需要快速低溫沈積薄膜層的應用的理想選擇。