二手 NOVELLUS CONCEPT One #9225569 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
已售出
ID: 9225569
晶圓大小: 8"
System, 8"
SMIF
Process: Tungsten.
NOVELLUS CONCEPT One是專為先進半導體沈積應用而設計的革命性反應堆。該單元結合了高性能等離子體源和專門的遠程腔室,提供了進一步增強半導體加工的能力。這種先進的設備提供了許多顯著的好處。NOVELLUS CONCEPT ONE利用獨特的等離子體源在膠片質量和可重復性方面提供了顯著的改進。等離子體源使您能夠快速準確地自定義過程以優化過程結果。遙控室允許更有效地利用氣體和增加沈積速率,從而產生優越的處理能力。憑借先進的基板加熱和冷卻能力,CONCEPT One可以達到高達800攝氏度的溫度,並提供快速高效的熱控制。反應堆提供超快的開啟時間,只有幾分鐘啟動和全油門之間。此外,系統幾乎無限的可擴展性允許最多八個腔室,每個腔室有八個源,並且可以很容易地同步。CONCEPT ONE還具有基於PC-和PLC的集成電氣和控制單元,可實現各種過程的完全自動化。這種獨特的功能組合使工藝工程師能夠輕松地在沈積配方和蝕刻配方之間切換。因此,這種先進的設備提高了吞吐量、產量和正常運行時間。NOVELLUS CONCEPT One是一種全自動反應堆機器,經過設計,可以處理範圍廣泛的過程,包括低和超低k電介質、鎢、銅、貴金屬,甚至砷化零。它可以精確定位幾百微米內的晶片基板,並提供幾種內置的安全特性。總體而言,NOVELLUS CONCEPT ONE是先進半導體沈積應用的絕佳選擇。憑借其令人難以置信的自動化能力和改進的性能,這一單元可以顯著精簡和優化半導體基板的加工。高精度的沈積輪廓和快速打開時間使其成為當今復雜制造環境的理想選擇。
還沒有評論