二手 NOVELLUS CONCEPT One #9226321 待售

NOVELLUS CONCEPT One反應堆是半導體制造設備中革命性的新設計。它是革命性的一步式CVD（化學氣相沈積）工具，將濕蝕室、沈積室和基板加熱器的性能結合在一個緊湊的設備中。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆設計為提供卓越的工藝溫度均勻性和高度的工藝控制。CONCEPT One反應堆使用旋轉室平臺，由電動機驅動，用沈積源材料蒸餾出的反射液體均勻地覆蓋基板。然後使用高效燃氣石墨加熱器快速準確地加熱溫暖的基板，然後基板進入沈積室。在這個室內，物質被沈積在基板上，溫度和氣體流動得到精確的控制和監測。高速聯鎖和等離子體給藥也被納入旋轉循環，以優化過程。CONCEPT ONE反應器還具有先進的X-Y掃描系統，該系統經過優化，以達到最大程度的過程均勻性和可重復性。這個單元可以讓腔室平臺被精確編程，可以在任何方向掃描，操作員可以快速方便地控制過程。該平臺還可用於跟蹤沈積過程中的基板和工藝溫度，使過程得以即時監測和調整。NOVELLUS CONCEPT One反應堆設計為提供卓越的溫度均勻性和過程穩定性，同時允許操作員更大的靈活性和控制。它是半導體制造的理想選擇，因為它可以處理大多數沈積過程，包括CVD、ALD和PECVD。該設計還使反應堆清潔和維護能夠更快、更有效地進行，最大限度地減少停機時間，延長機器壽命。這種可靠且性能良好的設計深受半導體行業許多人的信賴,可從NOVELLUS Systems獲得。