二手 NOVELLUS CONCEPT One #9243883 待售

NOVELLUS CONCEPT One是以創新技術和設計為動力的高性能單晶圓反應堆。該反應堆具有卓越的工藝靈活性、更快的循環時間和更好地利用昂貴的晶圓廠空間。反應堆由一件式固定室和六軸運動平臺組成，最大可達10英寸。該室的建造和設計是為了確保不會有顆粒汙染的危險，並用靜電接地的PEEK墻建造。該反應堆具有6.5英寸的抽水和隔離抽水區，具有集成的主動通風。為了提供卓越的工藝靈活性,NOVELLUS CONCEPT ONE配備了高速工具更換功能。可以換用單晶片、雙晶片處理等不同配置。溫度均勻性由水冷板保持，這也保證了低熱質量環境。CONCEPT One能夠以可變、速度和準確性執行多達1000種食譜和所有食譜。CONCEPT ONE由多軸運動平臺提供動力,並具有強大、準確和可靠的控制。其強大的運動套件包括10軸高速運動模型，以及低、高力慣性軸配置。每條軸可提供高達200毫米/秒的直線轉速和150°C/秒的轉速。這使設備可以同時執行多個操作,從而顯著減少周期時間並提高生產率。此外,為了最大限度地利用昂貴的晶圓廠空間,NOVELLUS CONCEPT One被設計為一個集成的封閉式系統,其中包含並連接了所有組件。控制單元的設計是為了確保最高的精度、準確性和自動化水平。NOVELLUS CONCEPT ONE是高性能、靈活、可靠流程的理想機器。它提供了卓越的工藝靈活性、更快的周期時間和更好的利用昂貴的晶圓廠空間,同時保持了溫度均勻性和卓越的性能。