二手 NOVELLUS CONCEPT One #9255441 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，使高性能薄膜材料得以生長。它采用先進的控制邏輯軟件,具有業界領先的工藝能力和高效的生產控制功能。NOVELLUS CONCEPT ONE由高級上室和下室組成。上腔室裝有低壓RF/DC等離子體源，利用先進的補償和輻射控制技術，在晶圓表面提供異常均勻性。下腔配有兩個直接氣相沈積的生產源。這可實現卓越的薄膜沈積,非常適合IC、MEMS、LED和其他設備。CONCEPT One還設有射頻（RF）發生器來管理等離子粉。這有助於有效控制生產質量,並最大限度地減少產品收縮。真空密閉室提供了更強的沈積性能和產品保護，以及過程穩定性。CONCEPT ONE是為了極致的效率和過程控制而設計的，使它可以使用鋁、銅、氮化矽和氧化矽等一系列材料。這使用戶能夠在整個IC和MEMS市場中存放符合嚴格要求的薄膜層或納米結構。此外,NOVELLUS CONCEPT One還配備了智能溫度和壓力分析系統,以增強沈積過程。除了可靠的質量生產和工藝外,NOVELLUS CONCEPT ONE還提供卓越的成本效益。先進的CVD技術和編程，以及高效的生產控制系統相結合，為用戶提供具有成本效益的薄膜沈積。這有助於用戶減少周期時間和材料成本,同時保持優質生產。CONCEPT One是一種可靠高效的CVD反應器，能夠促進高性能薄膜材料的生長。它是為極致效率和過程控制而設計的，並配有先進的射頻/直流等離子體源、兩個生產源和一個射頻發生器。它還具有智能溫度和壓力分析功能、成本效益和質量生產水平,可滿足IC和MEMS行業最嚴格的要求。