二手 NOVELLUS CONCEPT One #9266473 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種用於化學氣相沈積（CVD）的沈積反應器，在基材上形成薄膜層。它采用先進的技術設計，能夠在大面積上實現精確的層一致性和均勻性。反應堆利用高能電子脈沖、低能光子以及精確的溫度和壓力控制相結合，在CVD過程中控制不同化學物質固相和液相的釋放和運動。該反應器利用微調混合室實現精確的溫度和壓力控制。混合室包括一個圓柱形真空容器，周圍有精確的氣體入口設備、真空泵和溫度/壓力傳感器/控制裝置。這允許精確控制反應物氣體混合物。位於反應堆底部附近的氣體入口系統允許將氣體精確輸送到混合室。此外，NOVELLUS CONCEPT ONE利用了幾個先進的組件來實現對快速能量爆發的精確控制。這包括電子束槍，產生高能電子爆發，在反應物分子進入腔室前將其分解。它還包括一個發光二極管（LED）單元，產生低能光子，促進反應物分子的反應而不對底物造成損害。在操作中，CONCEPT One首先是用必要的反應物氣體和底物來制備。然後，電子束槍產生一個聚焦束，在反應物分子進入混合室之前將其分解。LED機器產生快速促進反應物分子反應的低能光子。最後，混合室的精確溫度和壓力控制使得反應物分子在底物上的均勻分布成為可能。與其他CVD反應堆相比,CONCEPT ONE沈積反應堆具有許多優點.其精確的溫度控制保證了在不犧牲反應物氣體混合物的情況下在大面積上均勻的層狀和均勻性。其電子束槍和LED工具大大減少了時間浪費，在不影響基材化學性質的情況下實現了快速、高效的沈積。最後，它的氣體入口資產提供了對氣體的精確控制，確保了密集甚至層狀。