二手 NOVELLUS CONCEPT One #9268771 待售

NOVELLUS CONCEPT One是處理半導體晶圓的先進工具。它是為在半導體工業中高生產率的介電蝕刻和沈積應用而設計的。NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆是性能、靈活性和成本的完美結合。它提供了可靠、經濟高效的經過認證和完全兼容的300 mm晶圓解決方案的生產。CONCEPT One反應器是一個單晶片工藝室，由熱導電不銹鋼構成。配備精密氣流控制，等離子體生成均勻。它設計用於在整個晶片表面上進行極其均勻的自動調整,從而允許該過程保持在目標上,而不管晶片的數量或整個晶片的數量如何。該工藝室還提供出色的工藝可重復性和汙染物控制，包括金屬和微粒。反應堆還設有動態氣體控制，它可以獨立調整流量和溫度，每次都允許最佳工藝條件。這提供了出色的過程一致性、劑量順應性和周期縮短時間。CONCEPT ONE反應器還具有自動熱壓控制（ATPC）功能，確保腔室始終保持正確的工藝水平以獲得最佳效果。它還提供了實時監控和過程控制系統（PMC）,可以更好地分析性能趨勢和過程優化。反應堆采用各種工藝配方和工具，以適應半導體行業的不同需求。它還與一些行業標準的設備和配置兼容，包括平臺自動化、晶圓傳輸和裝卸系統、真空泵、氣體輸送系統和安全系統。總體而言，NOVELLUS CONCEPT One反應堆是一種用於半導體晶片高效加工的最先進的工具。它通過精確的過程控制提供可靠且經濟高效的性能。此外,它的工藝配方和自動化功能提供了高度的靈活性,使其適合許多不同的應用程序。